Kimball Physics高能電子槍系統(tǒng)EGH-6002產(chǎn)品特點(diǎn)

起始價(jià)格 基本系統(tǒng) – 不包括選項(xiàng)：94,500 美元

高能量、可聚焦光束，光斑尺寸小，光束對(duì)準(zhǔn)可調(diào)

描述

可聚焦小光斑尺寸、高能電子束

1 keV 至 50 keV

應(yīng)用：

• 一般真空物理學(xué)

• 輻射研究

• 地表轟炸

• 半導(dǎo)體研究

• 生物標(biāo)本照射

• X 射線生成

• 血漿激發(fā)

• 熒光研究

• 表面物理研究

功能/選項(xiàng)：

• 中等束流

• 光斑尺寸小

• 靜磁聚焦

• 靜磁偏轉(zhuǎn)

• 磁性透鏡

• 脈沖能力

• 運(yùn)行時(shí)的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)

• 用戶可更換的點(diǎn)火裝置

• 5 英寸或 6.0 英寸 CF 安裝

• UHV 技術(shù) / 可烘烤

• 電腦 / 遙控器

能量范圍：1 keV 至 50 keV
束流：10 nA 至 100 μA
光斑尺寸：0.5 mm 至 100 mm
安裝：4.5“ CF 或 6.0"CF

Kimball Physics EGH-6002 電子槍及其匹配的 EGPS-6002 電源是一個(gè)完整的子系統(tǒng)，可連接到用戶的真空系統(tǒng)并打開(kāi)。它可以在非常廣泛的能量、電流和功率范圍內(nèi)傳遞電子。EGH-6002 可用于從半導(dǎo)體研究到二次電子發(fā)射研究的許多不同的應(yīng)用。

該槍可以產(chǎn)生高能、可聚焦的小光斑電子束。束流能量和束流都可以在很寬的范圍內(nèi)獨(dú)立調(diào)節(jié);1 keV 至 50 keV 的能量和 10nA 至 100μA 的電流是標(biāo)準(zhǔn)配置。電子束可以通過(guò)控制網(wǎng)格的輸入信號(hào)進(jìn)行脈沖傳輸。

噴槍的可調(diào)節(jié)光學(xué)元件可以適應(yīng)不同的發(fā)散和不同的工作距離。光斑尺寸可以從 0.5 毫米到 10 厘米不等。磁性聚焦透鏡和磁定心偏轉(zhuǎn)提供低像差的光束控制。此外，陰極到陽(yáng)極的間距可在內(nèi)部調(diào)節(jié)以改變磁長(zhǎng)。

該噴槍有可調(diào)節(jié)的陰極饋通組件，允許點(diǎn)火裝置相對(duì)于陽(yáng)極和色譜柱進(jìn)行機(jī)械對(duì)準(zhǔn)。當(dāng)噴槍在全電壓下運(yùn)行并打開(kāi)光束時(shí)，可以實(shí)時(shí)完成這種對(duì)準(zhǔn)。點(diǎn)火裝置筒（包括陰極、陰極支架和 Wehnelt 孔徑）可由用戶更換，甚至無(wú)需從真空室中取出噴槍。用過(guò)的點(diǎn)火裝置可以退回工廠進(jìn)行重建。

其他信息：