真空泵的工作原理是：

機驅動的高速旋轉葉片撞擊氣體分子，被撞擊的氣體分子碰撞到固定葉片后又被彈到下一個旋轉葉片上，最終被送到排氣口。旋轉葉片和固定葉片的方向相反，使分子難于逆行。這種排氣方式，排氣速度不因氣體種類而變。

真空泵的工作過程通常可以被分為兩個階段，即抽氣階段和排氣階段。

在抽氣階段，真空泵被啟動后，通過旋轉或者連續(xù)變化的工作腔，逐步從系統(tǒng)中抽出氣體。當系統(tǒng)中氣體的壓力下降到一定程度時，進入排氣階段，真空泵開始將系統(tǒng)中的氣體排出，以此達到形成真空環(huán)境的目標。